Как разробрать датчик расхода воздуха

Разбирать будем датчик массового расхода воздуха (англ. Mass Air Flow Sensor), он же расходомер воздуха, от дизельного двигателя CRDI D3EA 1.5. Код детали: 28164-27500, аналог от Bosch: 0 281 002 528. Заказать можно, например, здесь.

Так он выглядит:

Отковыряем верхнюю крышку, она сидит на герметике.

Внутри мы видим обрабатывающую схему, залитую компаундом и сам МЭМС-датчик, находящийся в канале для воздуха (МЭМС — это микроэлектромеханические системы).

Более крупный план, нажмите на фотографию, чтобы увеличить.

Лишний раз лучше не разбирать, так как починить такое устройство в домашних условиях нереально, а испортить — запросто.